金融界2024年12月16日音讯,国家知识产权局信息数据显现,广东科视光学技能股份有限公司获得一项名为“吸附型装载组织及曝光机”的专利,授权公告号 CN 222145396 U,请求日期为2024年4月。
专利摘要显现,本请求触及曝光机装载组织技能领域,特别触及一种吸附型装载组织及曝光机。经过吸附的方法固定待曝光件。当待曝光件放置于装载组织时,经过负压设备使吸附孔构成负压,从而经过大气压力将待曝光件固定于装载组织。因为待曝光件区域内的吸附孔主要由待曝光件接受大气压力,因而密封件遭到的大气压力较小,弹性件使密封件免除对吸附孔的密封。而待曝光件区域外的吸附孔没有待曝光件接受大气压力,因而,由密封件接受大部分的大气压力,使密封件紧贴装载台组件,从而对吸附孔进行封堵,避免漏气现象的发生,从而确保装载组织吸附待曝光件的有效性,并下降负压设备的功率,从而下降曝光设备的能耗。如此,进步装载组织的可靠性,下降曝光设备能耗。